晶圆搬运机器人

NTS20晶圆搬运机器人

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2022-07-07 17:49:44
465
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川崎重工管理（上海）有限公司

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产品简介

NTS系列可以用一台机器人在没有走行装置的情况下对应从2FOUP到3FOUP的EFEM。具备川崎自主开发的驱动部分，能够实现高精度、高刚性的动作。

详细介绍

  • 应用分类晶圆搬运
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