晶圆搬运机器人

TTS10晶圆搬运机器人

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2022-07-07 17:47:01
553
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川崎重工管理（上海）有限公司

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产品简介

TTS系列可以用一台机器人在没有走行装置的情况下对应从2FOUP到3FOUP的EFEM。具备川崎自主开发的驱动部分，能够实现高精度、高刚性的动作。 同时，由于采用了上下轴伸缩式的结构，因此无论是想将物品搬至高处或是低处，此设备都能做到。

详细介绍

TTS系列可以用一台机器人在没有走行装置的情况下对应从2FOUP到3FOUP的EFEM。具备川崎自主开发的驱动部分，能够实现高精度、高刚性的动作。 同时，由于采用了上下轴伸缩式的结构，因此无论是想将物品搬至高处或是低处，此设备都能做到。
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