产品描述

PS2H45系列由两维X轴叠加组合，沿X，Y轴提供12、30、50、70或100 µm的运动范围。（标准产品行程为12μm，其它行程均可定制）。

PS2H45系列纳米定位器是我们高速产品线的一部分，可提供大功率控制器，使其进行超高速驱动运动。

PS2H45-012U系列是具有纳米级定位分辨率的高速，多轴，精密纳米定位系统。本系列产品提供的多功能性。可选配内部位置传感器进行闭环，可进行重复的位置测量。

体积小，具有超高谐振频率，高稳定性，高精度使其非常适合需要低噪声和高速性能的计量应用。参数可根据客户要求定制。

PS2H45-012U系列压电陶瓷元件直接移动工作台面，具有高刚性，即使在高负载下可实现稳定定位。

选配功能

—可定制固定、负载安装孔位及转接装置

—可选PZT&Sensor连接器及线缆长度

—可选配闭环(SGS) 位置反馈系

—可提供XZ/XYZ版本

应用领域

—高运动平面度和直线度的纳米定位

—测量、计量

—掩模/晶圆定位

—表面测量技术

                   结构原理                                            位移特性                                             典型应用

PS2H45-012U系列技术参数