产品描述

PS1H60-024U是一款多功能的紧凑型纳米定位器，可以配置以适应多种应用。可以将各个单轴平台组合起来以形成多轴系统。通过转接转可组成XY二维运动平台。方便用户升级与维护。PS1H60-024U压电纳米定位台以压电陶瓷为驱动源并采用直驱机构的一维运动的压电位移平台，无摩擦、高精度柔性铰链导向系统，可达毫秒级响应、纳米级定位精度，并可选配高精度传感器进行闭环精密定位控制。本产品的运动范围为30μm（开环）。其他行程可以根据要求进行定制。PS1H60-024U本体由铝材质构成，用户可选择殷钢或钛制成，并可以进行定制以适应*的要求，但是参数表中给出的为铝材质条件下测得数据。

压电平台负载能力高达8kg，该产品非常适于定位应用，如干涉中光路径长度修正、显微或扫描应用中的样品定位等，已广泛应用于干涉、显微、精密加工等领域。

压电平台固定是通过移动面和底板上的螺纹孔实现的。若要安装到具有标准栅格的光学平台或其他组件上，请使用转接板转接。在紧固过程中，应避免过大的弯矩载荷和作用在移动面与外壳之间的侧向力，这些外力可能会损坏位移台。

选配功能

—可定制转接工装

—可选PZT&Sensor连接器及线缆长度

—可选配闭环(SGS) 位置反馈系

—可组维、可定制其他行程

应用领域

—半导体技术、精密加工

—干涉仪、测量技术

—光纤定位、高速镜头聚焦

—测试程序、质量保证

                   结构原理                                           高速响应                                            典型应用

PS1H60系列技术参数