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Excel 660系列全自动影像测量仪,适用于航空航太,PCB电路板,机加工,金属薄片等行业,可与探针系统,镭射系统,或旋转夹头结合,构建复合传感器量测系统。
Excel 661HM/HC | Excel 662HM/HC | Excel 661 UM/UC | Excel 662UM/UC | Excel 664 UM/UC | |
量测行程(mm) | 650x680x160 | 650x680x250 | 650x680x160 | 650x680x250 | 650x680x400 |
承载重量 | 100kg | ||||
XY轴精度(μm) | 2.8+L/200 | 3.1+L/200 | 2.5+L/200 | 2.8+L/200 | 3.5+L/150 |
Z轴精度(μm) | 2.8+L/100 | 3.3+L/100 | 2.5+L/100 | 3.0+L/100 | 3.8+L/100 |
解析度 | 0.4μm | 0.1μm | |||
基本倍率 | 1X(LWD)/2X(SWD) | ||||
光学变焦 | 6.5x | 12x | |||
数位变焦 | 3x | ||||
综合倍率 | 20x-370x/40x-740x | 15x-540x/30x-1080x |