详细介绍
简单介绍
导电粒子观察显微镜主要用于半导体硅晶片(Silicon Wafer)检测、液晶屏(LCD)检测、导电粒子(Conductive Particles)检查,实验室材料分析及其他精密工程检测领域研究,可对样品进行明场、暗场、微分干涉及偏光观察。
导电粒子观察显微镜性能特点:
★ 系统采用无限远平场消色差、长工作距、明暗场两用物镜,成像清晰、像面平坦
★ 配备反射式柯拉照明系统,为不同倍率的物镜提供均匀充足的照明
★ 正像三通观察筒,25°倾斜,极大的提高了观察的舒适性与操作的适应性
★ 配备了6"带离合器机械平台,行程158*158mm,可快速移动
★ 人机学设计,高刚性镜臂,"Y"型底座,调焦机构采用前置式操作控制,粗微调同轴
★ 光源采用宽电压数字调光技术,具有光强设定与复位功能
★ 可选配摄影摄像装置、简易偏光装置、干涉滤光片、测微尺等附件,拓展应用领域
导电粒子显微镜主要技术参数:
光学系统:无限远色差校正光学系统
物镜
无限远平场消色差,长工作距金相物镜(明暗场两用),5X、10X、20X、50X、80X
目镜:高眼点平场目镜,PL10X,线视场φ22mm
高眼点平场目镜,PL15X,线视场φ16mm
观察筒:正像,铰链式三目,25°倾斜,分光比:双目99%,三目99%
照明系统:反射式柯拉照明,明暗场切换,带简易偏光接口,12V/100W卤素灯,预置中心
采用数字调光,具有光强设定与复位功能,带针孔光栏
调焦机构:粗微调同轴,带粗调上限位、松紧调节装置和随机限位装置
粗调行程:33mm(焦后1mm),微调精度:0.001mm
样品高度:32mm
物镜转换器:内定位、内倾式、五孔、明暗场两用物镜转换器
载物台:6英寸矩形,机械移动平台200mmX200mm,移动行程:158mmX158mm
低位同轴调节,带离合器控制手柄,可快速移动
机架:全新的人机工程学设计,高刚性镜臂,"Y"型底座,前置式操作控制
选购附件:摄影摄像装置、简易偏光装置、干涉滤光片、测微尺等
观察筒:正像观察筒,物的移动与像的移动方向一致,不会出现使用倒像观察筒时物像方向相反而产生的错觉。避免操作失误,提高工作效率。
1、铰链式观察筒,25°倾斜,视度调节(±5)
2、分光比:双目99%,三目99%
3、瞳距调节(54-75mm),无需筒长补偿
粗微动同轴调焦机构:
1、采用新型导轨机构,粗微动同轴
2、低手位设计,操作舒适
3、带有粗调松紧调节装置和随机限位装置
4、调焦行程:33mm
5、调焦精度:0.001mm
6、样品高度:32mm
机械移动载物台:
1、双层机械移动式,带离合器控制手柄,可快速移动
2、特殊材料制造、特殊工艺处理,耐磨耐腐蚀
3、低手位同轴调节手柄,操作更加舒适
4、6英寸矩形,移动行程:158mmX158mm
离合器控制手柄--通过离合控制,可以脱开手轮传动从而实现快速无阻移动,提高大面积样品检测时的移动效率
照明系统:
1、12V/100W卤素灯,预置中心
2、90V-240V宽电压,旋钮式数字调光
3、具有光强设定与复位功能,用于特定观察或拍摄照片
4、反射式柯拉照明,带视场光栏与孔径光栏,均可调中心
5、推拉式针孔光栏,主要用于50X以上的物镜,观察高景深高对比度
物镜转换器:
1、内定位内倾式、五孔明暗场两用物镜转换器
2、物镜的安装和操作更为便利
3、高精度制造,保证系统齐焦
偏光装置:
1、选择简易偏光附件可以实现偏光观察
2、S-PO起偏镜,S-AN检偏镜