X轴测量

自动

测量宽度

2m（可根据客户要求调整）

X轴移动速度

0.1m/s

单向扫描时间

18秒测18个点(标准)

马达传动系统

1套

大型滑轨

2.0m（可根据用户要求调整）

大支架

1套

控制箱+线槽

1个（PCB板，连线，电源，路由器）

  网线

25米超5类线

 网络适配器

路由器+其他网络配件

 电脑(台式机一台)

19寸TFT显示屏， Intel CPU

，鼠标+键盘+3年保质期

  反射（0度入射角）配件

光学器件，光源， 特殊机械配件， 光纤光谱仪，光纤， 硅片

测试方式

膜面反射

波长范围

380-820（可见光）湿膜/380-1050(可见光),干膜

厚度测量范围

100纳米-200微米（可见光）

精度

0.5%(30次单点测量1阶标准差)

测量单点时间

小于1秒

测量点

1mm (0度角反射)

光源和寿命

钨卤素灯 平均预期寿命10,000小时

操作环境

5-35度；5-90%不结霜

入射角

0度角

  1套

一套测量软件和膜厚仿真拟合软件

1、光谱反射，计算出膜厚参数；

2、系统有手动、自动、系统校准模式。手动模式时，可在计算机上控制测量，膜到位后，按测量按钮即测量该点的光谱膜厚；自动测量模式时在膜到位后进行自动测量；系统校准模式时，检查系统设置，硬件状态等。

3、膜厚度的历史趋势曲线，丰富的公差和报警阈值设定功能，如可设定公差带和报警阈值。

4、存储、管理测量系统的测量结果，方便回溯

5．仿真不同角度的膜面反射反射光谱曲线。可用于膜系开发。

6、具有数据人工备份功能，以防数据意外丢失；系统安装完毕后，提供系统备份硬盘，防止原始系统意外损坏；

7、打印颜色参数扫描曲线，数据表，打印光谱曲线，打印屏幕图像等功能；

8、系统全部操作均在控制室内计算机上完成。