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Spectra是一种光学比对仪，容量大，图像清晰，操作简单，精度高。
| Spectra Bench | Spectra Floor | |
| 量测行程(mm) | 300x150x75 | 300x150x75 |
| 承载重量 | 9kg | |
| XY轴精度(μm) | Ux=2.5+L/25, Uy=2.5+L/15 | |
| XY轴重复性(μm) | 2.5 | |
| XY轴垂直度(μm) | 12.5 | |
| Z轴垂直度(μm) | 7.5 | |
| 解析度 | 2.0μm | |
| 光学镜头/倍率范围 | 10x, 20x, 31¼ x, 40x, 50x, 100x (多选一) | |
