产品简介

LMG2A产品描述产品特征：行程4mx4m以线性滑轨或空气轴承架构之定位平台良好接地设计防止杂讯干扰，Z向震动可达奈米等級以下速度可达5m/s，标准重現精度1um或以下位置回馈系统解析度可达50nm

详细介绍

产品特征：

行程4m x 4m

以线性滑轨或空气轴承架构之定位平台良好接地设计防止杂讯干扰，Z向震动可达奈米等級以下速度可达5m/s，标准重現精度1um或以下位置回馈系统解析度可达50nm。

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