产品简介

RWS单臂晶圆机器人产品描述特征软硬体垂直整合优势，并且采用高精密，高刚性直驱马达，重复精度达0.02mm，回转半径小，空间使用率高

详细介绍

特征

软硬体垂直整合优势，并且采用高精密，高刚性直驱马达，重复精度达±0.02mm，回转半径小，空间使用率高。

应用

适用于半导体产业（晶圆取放）、光电产业（小型面板、小型太阳能板）、LED产业（蓝宝石基板、胶环）等取放设备。

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