技术特点：

1.        采用静承+气浮轴承，可靠性更高；

2.        气浮轴承兼具密封功能，密封气流开启时液压油无泄漏；

3.        采用水溶性液压油，可用纯水清洗；

4.        转台台面直径250毫米，配备真空吸盘后可用于12吋Sic晶圆磨削；

5.        高刚度：主轴轴向刚度大于1000 N/µm，转台轴向刚度大于3000 N/µm；

6.        高精度：主轴、转台轴向/径向回转精度< 0,25µm；

7.        具备优秀的减振特性，成品率更高 ；

8.        静承无磨损，机床精度长期保持；

9.        静承采用的PM流量控制器调节油腔流量，高承载，高刚度 。