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面议基本参数
| 电源频率 | 40KHz/13.56MHz （选配） |
| 容量 | 60L |
| 功率 | 0-500W(可调) |
| 腔体尺寸 | (长宽高mm)400*450*400 |
| 处理层数 | 11层 |
| 外形尺寸 | (长宽高mm)1000*1030*1630 |
| 真空泵 | 油泵/干泵+罗茨组合 （选配） |
| 真空度 | 5-100pa(可调) |
| 腔体材质 | 316不锈钢/进口铝合金(选配) |
| 气体流量控制 | 0-500SCCM(MFC±2%) |
| 气体通道 | 两路(可增加):Ar/N2/H2/CF4/02 |
| 等离子体发生器 | 40KHz/13.56MHz |
| 腔体温度 | ＜30℃ |
| 控制方式 | PLC+触摸屏 |
| 系统控制软件 | 自主研发V2.0 |
| 电极陶瓷 | 进口高频陶瓷 |
设备功能
粘附提升：往基质上添加活化能力强的化学基团以提高其粘合剂的黏着度。
清洗：清除材料上的光学物质的污染以及清除有机物残留，氧化和金属盐等对材料的污染。
活化：能使处理基材表面生成所需化学极键；
退镀：使被处理基材除去金属等材料，制作各种产品。
