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| 型号 | TS-PL1900 |
| 设备外形尺寸 | W1920×D1450×H2050(mm){不含三色灯高度} |
| 腔体尺寸 | W1110xD1200xH1450(mm) |
| 腔体容量 | 1900 升 |
| 载物托盘/数量 | 铝托盘/4 层 |
| 等离子电源 | 40KHz/40KW |
| 气体流量控制 | 0-2000mL/m MFC 气体质量流量计精确控制流量 |
| 反应气体 | 2 路（氧气、氩气、氮气等非腐蚀性气体） |
| 工作真空度 | 20-60Pa |
| 整机功率 | 约60KW |
| 电源 | AC380V,50/60Hz，三相五线 |
