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行业应用
基本参数
腔体材质 | 316不锈钢 |
电源频率 | 40khz/13.56mhz |
容量(L) | 2 |
功率(W) | 300 |
腔体尺寸(L*W*H)mm | 直径100*270 |
外形尺寸(L*W*H)mm | 550*600*400 |
真空度 | 30pa-100pa |
气体流量 | 0-100ml/s |
清洗时间 | 1-100分钟可调 |
冷却方式 | 风冷 |
气体通道 | 两路工作气体,O2 , Ar等 |
控制方式 | 人机界面 |
真空腔体温度 | <50℃ |
真空泵 | 油泵/干泵(可选) |