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设备用途:
该机主要适用于超高精密零部件的双面研磨抛光,光学晶体材料、硅片、砷化镓片、刀片、金属件、石英及其他硬脆材料等高平面度、高平行度要求的双面高精度研磨抛光。
设备原理:
1、本系列研磨机为超高精密研磨设备,上、下研磨盘作相反方向转动,工件在载体内作既公转又自转的游星运动。磨削阻力小不损伤工件,而且两面均匀磨削生产效率高。
2、本系列研磨机修整机构采用油压悬浮导轨前后往复运动,金刚石修面刀给研磨盘的研磨面进行平面修整。
设备特点:
1、本系列研磨机的上、下研磨盘可进行自动修盘。
2、采用四个电机同步驱动,变速范围更广,动动精度更高,响应速度更快,能适应不同研磨材料用研磨工艺的要求,实现了软启动、软停止,调速稳定,冲击小。
3、控制系统中采用CNC、彩色终端等*技术,系统的响应速度更快、更精确,并具有远程监控,远程维护功能。
4、本系列研磨机有光栅厚度控制系统,加工后的产品厚度公差可控制在±0.002mm,平行度0.002mm、平面度0.001mm范围内。
设备规格:
型号 | YM-D380X | YM-D610X | YM-D910X |
研磨盘(外径*内径) | ∮380*∮140*12t | ∮610*∮200*12t | ∮635*∮240*12t |
工件*加尺寸 | ∮130mm | ∮200mm | ∮280mm |
工件加工平面度(25mm) | ±0.1u以内 | ±0.1u以内 | ±0.2u以内 |
工件加工平行度(25mm) | ±0.2u以内 | ±0.2u以内 | ±0.4u以内 |
工件粗糙度(石英材料) | 0.4nm以内 | 0.4nm以内 | 0.4nm以内 |
研磨盘修面后平行度 | ±0.1u以内 | ±0.2u以内 | ±0.2u以内 |
游轮规格 | M2Z73 | M2Z115 | M2Z195 |
游轮数量 | 5 | 5 | 5 |
下研磨盘转速 | 0-100rpm | 0-90rpm | 0-70rpm |
下研磨盘电机功率 | 0.75Kw3相380V | 2.2Kw3相380V | 3.7Kw3相380V |
上研磨盘研磨转速 | 0-60rpm | 0-60rpm | 0-60rpm |
上研磨盘电机功率 | 0.4Kw3相380V | 1.5Kw3相380V | 1.5Kw3相380V |
上研磨盘修面转速 | 0-100rpm | 0-90rpm | 0-70rpm |
上研磨盘修面电机功率 | 0.4Kw3相380V | 0.47Kw3相380V | 0.75Kw3相380V |
外齿轮转速 | 0-30rpm | 0-30rpm | 0-30rpm |
外齿轮电机功率 | 0.4Kw3相380V | 0.75Kw3相380V | 0.75Kw3相380V |
修面机速度 | 200mm/分钟 | 200mm/分钟 | 200mm/分钟 |
修面机电机 | 100w | 200w | 200w |
外形尺寸 | 800*1200*2300mm | 1000*1400*2400mm | 1200*1650*2400mm |
重量 | 1130kg | 2100kg | 2330kg |