可对应高精度少量的研磨加工
应用:
半导体材料:Si、Ge、GaAs、蓝宝石、SiC、InP、GaN、MEMS、陶瓷基板等
精密光学:光学晶体、光学镜头、玻璃基板、ITO玻璃、蓝宝石玻璃、滤波材料等
晶体材料:铌酸锂、钽酸锂、YAG、石英、红外材料等
特点:
伺服修盘系统,确保磨盘足够的平坦度。磨盘在线检测恒温系统,防止工件变形及脱片。多段货柔性加压系统,满足复杂的加工工艺要求。数字化加液系统,减少磨液损耗。四工位独立变速控制系统。
品牌
生产厂家厂商性质
所在地
针对氧化锆陶瓷和蓝宝石LED衬底片等超硬材料的快速减薄。高精密立式减薄机
面议抛光垫
面议用于不锈钢、蓝宝石LED衬底、硅片、陶瓷、光学玻璃等金属、非金属之精密抛光抛光液
面议主要用于合金、蓝宝石、陶瓷、不锈钢、硅、光学玻璃等金属、非金属之粗、中、精磨。金刚石研磨液
面议金刚石研磨盘
面议合成锡盘
面议蓝宝石*合成铜盘
面议用于研磨余量较少,表面要求高,产品的中度研磨,配合中细颗粒研磨液使用可达到非常精细的表面效果合成铜盘
面议用于针对余量较多产品的快速粗磨,配合粗颗粒钻石研磨液使用效率高,但磨削面较粗合成铁盘
面议Y系列-双端面研磨机
面议针对氧化锆陶瓷和蓝宝石LED衬底片等超硬材料的快速减薄。高精密卧式减薄机
面议应用领域:半导体材料、精密光学、晶体材料精密四工位CMP抛光机KD36QS4
面议应用:
半导体材料:Si、Ge、GaAs、蓝宝石、SiC、InP、GaN、MEMS、陶瓷基板等
精密光学:光学晶体、光学镜头、玻璃基板、ITO玻璃、蓝宝石玻璃、滤波材料等
晶体材料:铌酸锂、钽酸锂、YAG、石英、红外材料等
伺服修盘系统,确保磨盘足够的平坦度。磨盘在线检测恒温系统,防止工件变形及脱片。多段货柔性加压系统,满足复杂的加工工艺要求。数字化加液系统,减少磨液损耗。四工位独立变速控制系统。
为您提供高效、高精度的平面研磨抛光设备,在此,我们愿以多年积累的技术经验,为您提供更多的选择,令您的自动化磨加工系统日益完善、便捷。
型号 | KD24QS4 | KD36QS4 |
---|---|---|
磨盘尺寸(mm) | ø630 | ø910 |
工件盘外径(mm) | ø248 | ø360 |
磨盘转速(mm) | 0-110 | 5-90 |
主电机功率(mm) | 4.5 | 15 |
气压(MPa) | 0.6 | 0.6 |
总功率(KW/380V) | 9.5 | 16 |
毛重(mm) | 2400 | 3650 |
外形尺寸(L*W*H)mm | 1200*1350*2250 | 1360*1330*2650 |