可对应高精度少量的研磨加工
应用：针对氧化锆陶瓷和蓝宝石LED衬底片等超硬材料的快速减薄。
特点：
采用CNC程序控制，确保机床稳定性，安全性。采用日本“NSK”/德国“FAG”高精密高速轴系；有效确保高速，高强度磨削时的加工精度。采用一触式真空吸盘系统，有效提高装夹的方便性。智能恒扭力防爆片功能，大大减少爆片率。恒温冷却系统。自动补偿系统。可选配在线厚度测量装置。可选配自动砂轮修整装置。
真空吸盘装置
参选型号：
精密四工位CMP抛光机KD36QS4
单平面研磨机 -B系列
双面研磨机-B系列
双端面研磨机 7系列 KS700Y
