集成化供气系统

IAGD3集成化供气系统

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2023-02-16 15:50:09
212
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喜开理(中国)有限公司

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产品简介

省空间且提高了维护性的工艺气体供给系统。从设计到制作均可根据客户需要的流程进行。1.5inch,采用CS密封。行业半导体制造工序(前工序)化学气体供给设备用元件

详细介绍

【集成单元】
通过紧凑集成标准化部件,构建工艺气体供气线。
实现了可高速置换工艺气体和惰性气体的理想流路。
从设计到装配、检查完成后交付,可减少客户的工时。

型号 名称 内容尺寸配管方式 备注
IAGD3集成化供气系统--CS密封
MAGD3集成化供气系统用元件气控阀1.5inch-
MOGD3集成化供气系统用元件手动阀1.5inch-
MFGD3集成化供气系统用元件流量调节阀1.5inch-
MCGP3集成化供气系统用元件单向阀1.5inch-

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