硅氧烷・臭氧去除器

SFX硅氧烷・臭氧去除器

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2023-04-23 16:11:32
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喜开理(中国)有限公司

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产品简介

专用于硅氧烷吸附及臭氧分解的去除器。99%以上的高去除率使得压缩空气、氮气在保持加压状态下,可以大流量使用。行业半导体制造工序(后工序)安装

详细介绍

【1台即可去除2种污染物】
采用活性碳滤芯,1台即可去除硅氧烷和臭氧。

【可对应高压、大流量】
压缩空气、氮气在保持加压状态下,可以大流量使用。

【高去除率】
99%以上的硅氧烷吸附性能、臭氧分解性能。

【省空间】
可连接本公司的调质元件及模块,实现省配线。

型号 名称 连接工序环境温度、流体温度 备注
SFX40-8硅氧烷、臭氧去除器Rc1/45~50℃
SFX40-10硅氧烷、臭氧去除器Rc3/85~50℃
SFX40-15硅氧烷、臭氧去除器Rc1/25~50℃

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