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IAVB真空压力控制系统

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喜开理（中国）有限公司

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产品简介

既保持了高真空阀原本的可靠性，还能进行可实现多种工艺的压力控制。行业半导体制造工序（前工序）半导体制造工序（后工序）

【可进行缓慢排气控制】
与通常的ON/OFF真空阀和两段排气真空阀相比，实现了固定比率的缓慢排气。

【新增压力控制功能】
以可靠性高的真空阀为基础，增加压力控制功能。
真空时的压力调节无需减压阀和可变漏阀。
通过采用截止阀方式，以O形圈密封结构实现了蝶阀不擅长的全闭动作。

【维护简便】
阀和电装部可分别维护。

型号	名称	配管方式	备注
IAVB※17	真空压力控制系统	NW16, 25, 40, 50
IAVB-CONT	IAVB用控制器	-

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