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EBR-M・EBR-G电动执行器 导向内置式活塞杆型
面议ZRS机械分度台 滚柱凸轮单元
面议SFX硅氧烷・臭氧去除器
面议CY2活塞气缸
面议DSSD2电动执行器 活塞杆型【限定日本销售】
面议GSSD2电动执行器 活塞杆型【限定日本销售】
面议EJSG电动执行器 滑块型
面议DCKW电动执行器 3夹爪夹持型【限定日本销售】
面议DLSH电动执行器 双夹爪夹持型【限定日本销售】
面议GCKW电动执行器 3夹爪夹持型【限定日本销售】
面议FFB・FFG直动式2・3通电磁阀 MULTI-FIT®
面议4F-NM・4F※※0E-NM・4F※※0EX-NM支持NAMUR的SELEX阀
面议【高精度】
适用于高纯度气体、高精度控制的高规格设计。
可高精度控制微小流量、压力。
迟滞小,减小了压力降。
型号 | 名称 | 流量系列 | 2次侧设定压力 | 备注 |
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PGM-30V | 工艺气体用减压阀 | 20ℓ/min | -0.07~0.21Mpa | |
PGM-30 | 工艺气体用减压阀 | 20ℓ/min | 0~0.21Mpa | |
PGM-50 | 工艺气体用减压阀 | 20ℓ/min | 0~0.35Mpa | |
PGM-100 | 工艺气体用减压阀 | 20ℓ/min | 0~0.7Mpa | |
PGM-H-60 | 工艺气体用减压阀 | 50ℓ/min | 0~0.42Mpa | |
PGM-H-100 | 工艺气体用减压阀 | 50ℓ/min | 0~0.7Mpa |