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EBR-M・EBR-G电动执行器 导向内置式活塞杆型
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ZRS机械分度台 滚柱凸轮单元
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SFX硅氧烷・臭氧去除器
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CY2活塞气缸
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DSSD2电动执行器 活塞杆型【限定日本销售】
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GSSD2电动执行器 活塞杆型【限定日本销售】
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EJSG电动执行器 滑块型
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DCKW电动执行器 3夹爪夹持型【限定日本销售】
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DLSH电动执行器 双夹爪夹持型【限定日本销售】
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GCKW电动执行器 3夹爪夹持型【限定日本销售】
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FFB・FFG直动式2・3通电磁阀 MULTI-FIT®
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4F-NM・4F※※0E-NM・4F※※0EX-NM支持NAMUR的SELEX阀
面议【轻量、紧凑】
采用简单的截止型结构，与以往的耐磨型膜片阀相比，进一步实现了轻量、紧凑化。
有助于装置的省空间、节能化。
【高耐久性】
应用要求高洁净度和耐久性的半导体行业的液体控制技术。
比以往的耐磨型膜片阀大幅提高膜片的耐久性，实现长期稳定动作。
【维护性】
可更换膜片。
更换方便，缩短维护时间。
| 型号 | 名称 | 配管口径 | 备注 |
|---|---|---|---|
| SPD | 气控式 截止型膜片阀 | ISO套圈 接头8A、15A |
