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EBR-M・EBR-G电动执行器 导向内置式活塞杆型
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ZRS机械分度台 滚柱凸轮单元
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SFX硅氧烷・臭氧去除器
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CY2活塞气缸
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DSSD2电动执行器 活塞杆型【限定日本销售】
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GSSD2电动执行器 活塞杆型【限定日本销售】
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EJSG电动执行器 滑块型
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DCKW电动执行器 3夹爪夹持型【限定日本销售】
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DLSH电动执行器 双夹爪夹持型【限定日本销售】
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GCKW电动执行器 3夹爪夹持型【限定日本销售】
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FFB・FFG直动式2・3通电磁阀 MULTI-FIT®
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4F-NM・4F※※0E-NM・4F※※0EX-NM支持NAMUR的SELEX阀
面议【轻量、紧凑】
10.5mm宽的紧凑本体，多连使用时也可紧凑安装。
固定方法分为从侧面使用螺钉等固定的直接固定型，以及可安装在DIN导轨上的DIN导轨安装型。
【大幅缩短真空破坏时间】
3通阀规格采用3通规格真空供给用主阀，大幅缩短了从真空到大气压的所需时间（真空破坏时间）。
| 型号 | 名称 | 使用压力(MPa) | 真空阀有效截面积(㎟) | 备注 |
|---|---|---|---|---|
| VSXP-D | 单品・2通 | 0.3～0.7 | 3.5, 4.5 | |
| VSXP-T | 单品・3通 | 0.3～0.7 | 3.5, 4.5 | |
| VSXPM-D | 集成阀・2通 | 0.3～0.7 | 3.0, 3.6 | |
| VSXPM-T | 集成阀・3通 | 0.3～0.7 | 3.0, 3.6 | |
| VSXPM-Z | 集成阀・混合规格 | 0.3～0.7 | - |
