发生器单元(10.3mm宽)

VSN・VSNM发生器单元(10.3mm宽)

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2020-11-17 17:44:40
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喜开理(中国)有限公司

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产品简介

实现高速且稳定响应性的小型发生器单元。小型、轻量,尤其实现了高度尺寸的紧凑化。【喷嘴直径】0.4, 0.5, 0.6 (㎜)【吸入流量(L/min(ANR))】2~9.5行业半导体制造工序(后工序)

详细介绍

【小型、轻量】产品高度紧凑化。

【高速且稳定的响应性】
主阀采用直动阀,实现高速且稳定的响应性。
(ON/OFF=5㎜/sec以下)

【4种压力传感器】
压力传感器备有4种模拟输出类型。

型号名称喷嘴直径备注
VSN-H单品型・高真空・中流量型Φ0.4, Φ0.5, Φ0.6
VSN-E单品型・高真空・小流量型Φ0.4, Φ0.5, Φ0.6
VSNM-H集成型・高真空・中流量型Φ0.4, Φ0.5, Φ0.6
VSNM-E集成型・高真空・小流量型Φ0.4, Φ0.5, Φ0.6
VSNM-Z集成型・混合规格-

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