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EBR-M・EBR-G电动执行器 导向内置式活塞杆型
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ZRS机械分度台 滚柱凸轮单元
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SFX硅氧烷・臭氧去除器
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CY2活塞气缸
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DSSD2电动执行器 活塞杆型【限定日本销售】
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GSSD2电动执行器 活塞杆型【限定日本销售】
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GCKW电动执行器 3夹爪夹持型【限定日本销售】
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FFB・FFG直动式2・3通电磁阀 MULTI-FIT®
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4F-NM・4F※※0E-NM・4F※※0EX-NM支持NAMUR的SELEX阀
面议【大流量】
【适应不同使用方法的喷嘴类型】
备有单喷嘴型、两段喷嘴型、双喷嘴型3个种类。
两段喷嘴型：吸入流量比单喷嘴型增加了40％。
双喷嘴型：可高速上升至基准真空压力的同时，大幅减少了搬送时的耗气量。
| 型号 | 名称 | 喷嘴直径 | 备注 |
|---|---|---|---|
| VSQ-H | 高真空・中流量型 | Φ1.5, Φ2.0 | |
| VSQ-L | 中真空・大流量型 | Φ1.5, Φ2.0 | |
| VSQ-E | 高真空・小流量型 | Φ1.5, Φ2.0 | |
| VSQ-T | 双喷嘴型 | Φ1.5, Φ2.0 | |
| VSQ-D | 两段喷嘴型 | Φ0.7, Φ1.0, Φ1.2 |
