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EBR-M・EBR-G电动执行器 导向内置式活塞杆型
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ZRS机械分度台 滚柱凸轮单元
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SFX硅氧烷・臭氧去除器
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CY2活塞气缸
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DSSD2电动执行器 活塞杆型【限定日本销售】
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GSSD2电动执行器 活塞杆型【限定日本销售】
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EJSG电动执行器 滑块型
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DCKW电动执行器 3夹爪夹持型【限定日本销售】
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DLSH电动执行器 双夹爪夹持型【限定日本销售】
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GCKW电动执行器 3夹爪夹持型【限定日本销售】
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FFB・FFG直动式2・3通电磁阀 MULTI-FIT®
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4F-NM・4F※※0E-NM・4F※※0EX-NM支持NAMUR的SELEX阀
面议【无需配管的单元类型】
配管时只需插入气管。
可大幅降低组装工时，且紧凑、省空间。
订购时的型号管理也非常轻松。
【全禁油规格】
对所有流体通路部分进行脱脂清洗，在洁净室内完成组装至包装的一条线生产。
【铝材本体，高刚性】
本体全部采用铝制材质，刚性高。（过滤器除外）
备有双系统类型，扩展了气体供给方式的种类。
| 型号 | 名称 | 配管口径 | 高使用压力（MPa） | 设定压力范围(MPa) | 备注 |
|---|---|---|---|---|---|
| CAU30 | 洁净气体单元 | φ10, φ12 | 0.7 | 0.05~0.6 |
