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EBR-M・EBR-G电动执行器 导向内置式活塞杆型
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ZRS机械分度台 滚柱凸轮单元
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SFX硅氧烷・臭氧去除器
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CY2活塞气缸
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DSSD2电动执行器 活塞杆型【限定日本销售】
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GSSD2电动执行器 活塞杆型【限定日本销售】
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EJSG电动执行器 滑块型
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DCKW电动执行器 3夹爪夹持型【限定日本销售】
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DLSH电动执行器 双夹爪夹持型【限定日本销售】
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GCKW电动执行器 3夹爪夹持型【限定日本销售】
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FFB・FFG直动式2・3通电磁阀 MULTI-FIT®
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4F-NM・4F※※0E-NM・4F※※0EX-NM支持NAMUR的SELEX阀
面议【无需真空破坏阀】
通过无正压的真空脱离，无需采取措施防止极小芯片被吹走。
无需繁琐地调整破坏压力、流量及定时。
不使用真空破坏阀，实现了精简化。
【占用空间最小化】
与以往的带破坏单元相比，安装面积减少44％，重量减少53%，于制造装置的小型化。
即使在极小空间也可安装，装置设计的自由度更高。
通过轻量化，便于安装在装置可动部。
【可配备压力传感器】
单元中配备真空用压力传感器，外形更小巧。
负压检测也实现省空间。
采用U形卡销固定压力传感器，提高可维护性。
【可安装真空用过滤器】
配管过程中无需安装过滤器。
真空用过滤器采用快插式更换。
| 型号 | 名称 | 配管口径 | 备注 |
|---|---|---|---|
| MV3QRA | 直接配管 | M5，快插接头Φ4, Φ6 | |
| MV3QRB | 底板配管 | M5，快插接头Φ4, Φ6 |
