气体用超小型流量传感器 RAPIFLOW (R)

FSM气体用超小型流量传感器 RAPIFLOW (R)

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2020-11-17 10:56:29
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喜开理(中国)有限公司

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产品简介

是压缩空气、氮气用超小型流量传感器。轻量、高速响电子部件等的吸附确认。行业半导体制造工序(后工序)

详细介绍

【超小型、轻量】(FSM-X系列)
通过分离传感头实现了超小型化。
实现了比以往体积减少52%,轻量4G、8mm。
产品包括传感头单体和带流路模块两种类型。

【非线性特性】(FSM-X系列)
将模拟输出作为非线性特性,提高了低流量领域的分辨率。

【高速响应】(FSM-V・FSM-X系列)
实现了以往无法实现的5ms的高速响应设计

【双方向测量】(FSM-V・FSM-X系列)
可进行双方向测吸附确认用途。

型号名称配管口径(Φ、M)备注
FSM-X流量开关(非线性)4,5
FSM-V流量传感器(线性)1.8,4,5
FSM-V-D显示器-
FSM-VFMFSM・FSM-V直管型过滤器-
FSM-A模拟输出1点2009年03月31日
销售中止
【停产产品】
代替产品:FSM2系列
FSM-N开关输出PNP 2点、模拟输出1点2009年03月31日
销售中止
【停产产品】
代替产品:FSM2系列
FSM-P开关输出PNP 2点、模拟输出1点2009年03月31日
销售中止
【停产产品】
代替产品:FSM2系列

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