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EBR-M・EBR-G电动执行器 导向内置式活塞杆型
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ZRS机械分度台 滚柱凸轮单元
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SFX硅氧烷・臭氧去除器
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CY2活塞气缸
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DSSD2电动执行器 活塞杆型【限定日本销售】
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GSSD2电动执行器 活塞杆型【限定日本销售】
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EJSG电动执行器 滑块型
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DCKW电动执行器 3夹爪夹持型【限定日本销售】
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DLSH电动执行器 双夹爪夹持型【限定日本销售】
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GCKW电动执行器 3夹爪夹持型【限定日本销售】
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FFB・FFG直动式2・3通电磁阀 MULTI-FIT®
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4F-NM・4F※※0E-NM・4F※※0EX-NM支持NAMUR的SELEX阀
面议【IO-Link对应】
通过IO-Link通信可进行数据收集并且可进行从上一级的远程操作。
【检测系统异常（预防维护）】
除检测传感器、电磁比例阀老化的自我检测外，还检测包括周边系统在内的异常。
通过IO-Link输出警告。
【适用流体、流量范围】
空气、氮气：0.015～50ℓ/min
氩气：0.015～50ℓ/min
氧气、管道燃气、甲烷、丙烷：0.015～10ℓ/min
氢气、氦气：0.06～20ℓ/min
【搭载控制状态一目了然的数字显示器】
对流量值进行3位数字显示。
除了错误显示之外，还显示输出状态(开关输出ON-OFF)。
【0.5秒的高速控制】
采用经过硅微加工的白金传感器芯片，实现0.5sec的高速控制。
【高度可靠的流量控制】
再现性：±１%F.S.
精度：±3%F.S.
| 型号 | 名称 | 配管口径（Φ、Rc、UNF) | 备注 |
|---|---|---|---|
| FCM | 标准型 | 6, 8 | |
| FCM-L | 低差压型 | 1/4, 9/16-18 |
