?产品简介

MiniLab026是英国MOORFIELD公司一款落地式高性能科研级PVD综合镀膜系统，采用模块化设计，可在一台仪器上实现常规电阻热蒸发镀膜，低温热蒸发系统及磁控溅射镀膜,可用于镀金属膜，有机物薄膜及绝缘材料的单层或者多层功能膜与复合膜，同时还可搭载等离子刻蚀机退火模块，该系统被上许多学术团队采用，是科研用户PVD的理想选择。

?产品特性

? 落地结构，模块化设计

? 可选择DC与RF两种磁控溅射源，用于金属及绝缘层镀膜，溅射靶角度连续可调，可独立/依次/共同溅射

? 可选择电阻热蒸发源，低温热蒸发源，用于金属及有机物镀膜

? 可选配等离子刻蚀机及高温退火装置（高1100℃）

? 大可支持6英寸样品

? 兼容手套箱

? 可加3路反应气体，Ar，N2，O2可选配有MFC控制

? 配置高精度真空规进行压力全自动控制，真空度低至 <5×10-7 mbar

? 配置Inficon SQC-310膜厚测量仪用于薄膜厚度监测

? 操作简单：通过触屏或计算机实现全自动操作

? 自定义并可存储多个recipe

? 操作安全：自带各种软硬件互锁功能

? 可选加热样品台，高温度500℃，精度+/-1℃

? 可选旋转样品台

? 售后维护简单

?典型结构

? 金属薄膜与绝缘层蒸镀：配置2个磁控溅射源

? 金属薄膜蒸镀：配置3个电阻高温热蒸发源

? 有机薄膜与金属薄膜同时蒸镀：配置2个电阻高温热蒸发源与1个LTE低温热蒸发源

?应用

该系统用于半导体材料、OLED实验研究及有机太阳能薄膜电池实验研究。广泛应用于高校、科研院所的薄膜材料的科研与小批量制备。