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?产品简介 NanoPVD-S10A是英国MOORFIELD公司一款桌面式高性能科研级磁控溅射系统,可配置DC磁控溅射靶与RF磁控溅射靶,用于沉积纳米级的金属及绝缘材料的单层或者多层功能膜与复合膜,该系统被上许多学术团队采用,是科研用户磁控溅射的理想选择。 ?产品特性 ? 紧凑型桌面结构,模块化设计 ? 可选择DC与RF两种磁控溅射源,用于金属薄膜及绝缘材料,如氧化物与氮化物溅射 ? 大支持4英寸样品 ? 可同时安装3个2英寸磁控溅射靶,溅射靶角度连续可调,可独立/依次/共同溅射 ? 可加3路反应气体,Ar,N2,O2有MFC控制 ? 压力全自动控制,真空度低至 <5 × 10-7 mbar ? 配置Quartz crystal sensor用于薄膜厚度监测 ? 操作简单:通过触屏或计算机实现全自动操作 ? 自定义并可存储多个recipe ? 操作安全:自带各种软硬件互锁功能 ? 可选加热样品台,高温度500℃,精度+/-1℃ ? 可选旋转样品台 ? 售后维护简单 ? 兼容超净间 ?应用 该系统用于半导体材料、OLED实验研究及有机太阳能薄膜电池实验研究。广泛应用于高校、科研院所的薄膜材料的科研与小批量制备。