基本参数(高精度型)

X向量程：120mm

X轴分辨率：0.2μm

X轴指示精度：±（1.5+0.025L)μm

Z1向量程：15mm

Z1轴分辨率：0.01μm

Z1指示精度：±（1.2+|0.08H|)μm

Z轴高度：400mm  立柱行程

直线度：1.2μm/100mm

水平精度：±（1+0.025L)μm

垂直精度：±（0.8+|0.03H|)μm

检测方法：X轴 Z1轴 均为 新型数字式传感器

驱动速度：X轴 Z轴（立柱） 4档,可自定义速度

测量速度：  X轴 : 0.1,0.2,0.5,1mm/s 自定义

驱动方式：  X轴  Z轴

产品特点

★ 中台式轮廓测量仪，精度高、量程大，软件可非比例放大。

★ Z1轴采用高精度数字式线性传感器，测量范围大、精度高、稳定。

★ 采用高速并行数据采集单元，硬件触发、硬件高速采样，无延时。足够密集的数据源及稳定的数据源

★ 为后期的数据处理、计算提供保障。

★ 大量程设计，杠杆比仅为1：2.2，限度保持了传感器的原有精度。

★ Z轴传感器整体结构无任何弹性元件，从而保证无论测针处于均任何位置测力是衡定的。

★ 软件自主研发，标注、操作方式与CAD一致，软件功能强大，有自动抬起、自动回退及捕捉功能。

★ 对测针进行补偿。