TME1500山东国产轮廓仪
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TME1500天津国产轮廓仪
X轴检测方法:高精度光栅传感器/分辨率:0.2μm
Z1向量程:±0.5mm,±1.25mm,±2mm,±5mm
X轴精度:±(3+0.02L)μm
Z1轴精度:±0.3%f.s.
X轴直线度:1.2μm/100mm
X轴测量速度: 0.1,0.2,0.5,1mm/s,自定义
驱动方式及速度:X轴 Z轴均为 电动 4档,可自定义速度
量程与分辨率比例:65536:1(16位)
传感器类型:差动变压器,2段式
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