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面议研磨加工有着其它加工技术*的长处:研磨属于典型的“直接创造性加工”或者称为“进化加工”;即在工作母机上采取提高精度的措施(微量进给、低研磨速度、不断改变研磨运动方向等)直接加工出比工作母机精度更高的零件。这是因为当研具与工件接触时,在非超精密平面研磨划痕形成的建模与仿真强制性研磨压力作用下,能自动地选择局部凸出处进行加工,故仅切除两者凸出处的材料,从而使研具与工件相互修正并逐步提高精度。超精密研磨的加工精度与构成相对运动机床的精度几乎是无关的,主要是由工件与研具间的接触性质和压力特征、以及相对运动轨迹的形态等因素决定的。