花岗石底座二维轮廓度测量仪CLY-200B?技术参数

调整台  
平移台直径200mm  
平移台行程100mm

Y轴（滑动立柱）  
行程360mm  
运动直线度5µm

X轴（滑动横梁）  
行程200mm  
直线度2µm/200mm

气浮测头（测量臂长55mm）  
测量精度1µm  
测量矢高（zui大）10mm

花岗石底座二维轮廓度测量仪CLY-200B?使用环境要求

设备使用温度:20±2℃。一天内温度梯度小于3℃。

湿度：＜65%。

空气压力：≥0.6MPa。

空气过滤精度：0.01um。除油、除水。

空气流量: ≥0.1m³/min。

CLY-200B?主要配置

花岗石底座，滑动横梁，滑动立柱，平移台。

气浮转轴测头（技术）。

测量臂可快速更换，测量力可微调。

CLY-200B?应用领域

二维轮廓度测量仪是光学元器件检测*的设备。可测量光学元件的轮廓度与光学方程的误差。可逆推光学方程，对未知表面具有逆推系数的分析能力。适合全线光学元器件的测量（包括陡峭、平坦或小矢高等光学元器件）。