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机床特点
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加工元件表面粗糙度可达纳米级,口径可达到200mm,加工工件表面粗糙度Ra<3nm,面形精度PV值<0.2μm。可加工各种高精度平面、球面、非球面及离轴元件和自由曲面元件。可加工铜、铝、单晶锗、硒化锌、树脂、PMMA等材料。在三轴联动模式下还可加工离轴元件、柱面、子午面等非回转对称元件和自由曲面,配以特殊刀具可以实现微结构元件的加工,如各种衍射元件和菲涅尔透镜等。机床配置
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●超高精度空气静压主轴 自主技术技术参数
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Z轴(沿主轴)— — — — — — — — — — — — — —
1.要求隔震地基,设备在温度:20±2℃,一天内温度梯度小于2℃。湿度:<50%的环境下使用。