高精度激光干涉仪LM-10应用领域

位置精度检测，可检测数控机床定位精度、重复定位精度、反向间隙、角度、直线度、微量位移精度等；其他需要高精度直线位移测量的应用场合。

应用案例

科德数控股份有限公司生产的KMC800系列高精度五轴立式复合加工中心，采用主轴移动模式，并且具备高达60m/min进给速度，1g加速度的性能指标，X／Y／Z轴行程分别为800/800l540mm，具有铣削和车削以及磨削三种模式。利用LM系列激光干涉仪进行X轴测量，定位精度为3.5um/m，重复定位精度为3.5um/m，这一测量值与使用雷尼绍激光干涉仪的测量值*。

高精度激光干涉仪LM-10特点：

LM系列激光干涉仪通过与外部光学组件相配合，实现高精度、高重复、可溯源的测量。激光干涉仪可配合各种折射镜、反射镜等完成线性位置测密机床或测量工作，并可作为精密机床或测量仪器的校准工具。

测量精度高，LM系列激光干涉仪测量系统可达到士0.5um/m的测量精度。

激光干涉仪可配合各种折射镜、反射镜等来使用，搭配灵活，便于适应复杂的现场应用状况。智能化的上位机软件，可在机床自动化运行的状况下完成定位精度、重复定位精度的测量。并且可以自动生成相关补偿文件，供不同厂家系统补偿使用。

技术参数表：