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液压密封环双面研磨机主要用途：
该机主要适用用各种大尺寸硅片及晶体材料的抛光。
液压密封环双面研磨机设备规格：
型号 | YM-18A | YM-24A | YM-36A | YM-48A |
抛光盘规格 | φ460*φ140 | φ610*φ200 | φ910*φ300 | φ1220*φ400 |
zui大抛光尺寸 | φ150mm | φ200mm | φ300mm | φ450mm |
抛光后平面度 | ±0.5u以内 | ±0.7u以内 | ±1u以内 | ±1u以内 |
工件平行度（25mm） | ±1u以内 | ±1.5u以内 | ±2u以内 | ±2u以内 |
工件粗糙度 | 0.4nm以内 | 0.4nm以内 | 0.4nm以内 | 0.4nm以内 |
抛光盘电机功率 | 2.2kw 3相380V | 3.7kw 3相380V | 7.7kw 3相380V | 11kw 3相380V |
抛光盘转速 | 0~120rpm | 0~100rpm | 0~80rpm | 0~60rpm |
外形尺寸 | 700*1100*1100mm | 950*1200*2200mm | 1200*1400*2300mm | 1500*1700*2400mm |
重量 | 960kg | 1800kg | 2600kg | 4500kg |
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液压密封环双面研磨机特点：
1.本系列抛光机的吸附盘由四台单独的电机驱动、速度与压力可调。
2.控制系统中采用PLC彩色终端等*技术，系统的响应速度更快、更精确，并具有远程监控，远程维护的功能；
3.本系列抛光机运行平稳，抛光后的产品厚度公差可控制在正负0.002mm范围内，粗糙度可达到0.0005mm。
