近几年，光电产业迅猛发展，市场需求不断增加，工业机器人在光电产业的应用也随之显著增加，尤其对用于液晶面板厂无尘车间的搬运机器人需求迫切。

无尘室的自动化程度非常的高，这些自动化的设备都是有洁净度要求的，比如液晶和半导体产业用到的工业机器人，就需要到洁净版机器人，目前有许多工业机器人厂商都推出了洁净版机器人，如SANKYO三协就推出了在洁净室里搬运玻璃基板和晶圆的机器人：SR9181H、SR9171H、SR9191H、SR3183H、SR9182H、SR9172H、SR9192H、SR9173、SR9193、SR8665、SR8653……这种搬运机器人主要应用于LCD生产制造过程中玻璃基板的传送，连接前后段制程的传输，以及各制程中的玻璃基板的交换与传递。

广州市广科智能技术有限公司回收了大量三协大型液晶玻璃底板搬运机器人SR9172H，价格实惠，发货前会进行检测，保证质量完好。
SANKYO洁净室搬运机器人通过高操控性的伺服马达和控制软件，实现低振动以及平稳快速搬送。本体主要由CFRP（碳纤维），铝合金，高纯度陶瓷等多种材质构成，并且配置降温系统，可以在温度变化大的环境中保持高效率的运行，SR9172H搭载2台机械臂，大幅度缩短晶圆传送盒的搬运时间。
SANKYO洁净室搬运机器人本体拥有符合卫生标准的涂装，机体密封设计可以防止油脂、油污和微粒等污染物泄漏。
世代线 玻璃基板尺寸 切割尺寸/片数
1代线 320mm*400mm /
2代线 370mm*470mm /
3代线 550mm*650mm 15寸/4片
4代线 680mm*880mm 15寸/6片
4.5代线 730mm*920mm 15寸/8片
5代线 1100mm*1300mm 27英寸/6片
5.5代线 1300mm*1500mm 27英寸/8片
6代线 1500mm*1850mm 32英寸/8片、37英寸/6片
7代线 1950mm*2250mm 42英寸/8片、46英寸/6片
8代线 2160mm*2460mm 46英寸/8片、52英寸/6片
8.5代线 2200mm*2500mm 55英寸/6片
10代线 2880mm*3100mm 65英寸/6片或60英寸/8片
10.5代线 2940mm*3370mm 65英寸/8片
11代线 3000mm*3320mm 70英寸/8片

无尘室洁净机器人投入使用，为社会环境建设带来许多便利，尤其是很多工业产品都需要在特殊的洁净环境中加工，而洁净机器人就是生产这类产品的关键设备。伴随着对生产环境的要求不断提高，洁净机器人的市场发展前景还是非常可观的。
在无尘室，洁净机器人被广泛使用的原因，除了能带来明显的经济效益外，还有就是减少工人的参与，越来越多的液晶显示屏、半导体生产企业在洁净室中使用机器人或者自动化系统来取代人这一风险源。对洁净室的要求越高，使用自动化技术和机器人的优势也越明显。