三协双臂真空搬运机器人SR8651参数：

大速度「噪音」(dB)：80 or less

真空度(Pa)：1.33×10-2；

大速度「Z 轴」(㎜/s)：300；

自由度：5-AXIS(all AC-servo controlled)；

大速度「重复精度」(㎜)：+/-0.2；

动作范围「RR/RL 轴」(㎜)：2400；

动作范围「Z 轴」(㎜)：250/450；

可动范围「θ轴」(deg)：+140～-185；

大速度「RR/RL轴」(㎜/sec）：3370；

大速度「θ轴」(rads/s)：2.09；

大速度「基板尺寸」(㎜)：～1100×1300 t=3.1～5.2/～1300×1500 t=0.5～1.1/～1500×925 t=0.5～1.1

・控制器小型轻量化；

・使用了陶瓷手臂来应对高温环境；

・足以应对从常温到高温的变化；

・降温系统使三协真空机器人能应对高温环境；

・驱动单元模块化、易于维护；

・ARM驱动部使用了高精度部件和电能回馈结构；

・多达3段的Z轴使高度可动范围增大；

・R部和机器人本体的分割设计、使其易于保养也易于进入腔体。

三协真空双臂晶圆搬运机器人SR8652参数：

真空度：1.33×10-2；

大速度「基板尺寸」(㎜)：～1500×1850 t=0.5～1.1(LCD)

自由度：5-AXIS(all AC-servo controlled)；

动作范围「RR/RL 轴」(㎜)：2720；

动作范围「Z 轴」(㎜)：465(Solar)/670(LCD)；

大速度「Z 轴」(㎜/s)：400；

大速度「θ轴」(rads/s)：2.09；

大速度「重复精度」(㎜)：+/-0.2；

大速度「RR/RL 轴」(㎜/sec)：2474；

大速度「噪音」(dB)：80 or less；

动作范围「θ轴」(deg)：+140～-185；

大速度「基板尺寸」(㎜)：1100×1300 t=4～5(Solar)；

广州市广科智能技术有限公司拥有大量二手SANKYO三协真空双臂晶圆搬运机器人，如：三协真空机器人SR8651、三协真空机器人SR8652……欢迎全国各地理工机电学院、工厂采购、工业机器人培训机构洽谈，*。

真空机器人是一种能够在真空环境下工作的机器人，主要应用于半导体和液晶工业中，实现晶圆或玻璃基板在真空腔室内的运输，是负责真空端不同工位间晶圆传送的关键自动化设备。真空搬运机器人由于不使用气体真空吸附系统和气缸等，因此搬运时保持晶圆在机器手上的稳定比较困难。因此，此前只能以150～200枚/时的速度搬运晶圆。此次，通过改进保持晶圆稳定的真空内的夹具，即使高速搬运，机器手上的晶圆也不会错位。这样，可大限度发挥真空机器人的搬运速度。三协真空机器人可以在10^-7 pa的真空环境下运行。耐温达200工。此系列真空机器人大部分组件采用不锈钢或热膨胀系数相当的并且出气率底的材料。三协真空双臂晶圆搬运机器人由轻结构钢管构件、真空吸盘、真空器、电磁控制阀、真空开关等零部件组成，因此运动控制离合器、连接件和横拉杆等部件的重量都减轻了不少，这也进一步地提高了三协真空机器人的运动性能。