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• 品名 | 光学式表面分析仪 Candela

• 制造商 | KLA TENCOR

• 型号 | Candela CS10

• 年份 | 2005

• 外形尺寸(mm) | 宽 580 × 深 1100 × 高 1810

• 规格 |

• 对应晶圆：2 / 4 / 6 英寸

• 缺陷灵敏度：0.08 μm 波长：405 nm

• 基板厚度：350 - 1100 μm 照明源：25 mW 激光

• 输入电源：单相 AC 100V 50/60Hz 10A

• 附属品：ORION 纳米恒温器（Nano Thermo）型号：MD25-ACU