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微小线宽测定装置
（微细线宽测量设备 / CD测量仪）

制造商：

日立国际（Hitachi Kokusai / 日立国際）

型号：

WF-R55UV-H5

出厂年份：

2007年

外形尺寸（mm）：

—（未标注）

规格：

• 工件尺寸：

• ≤ W140 × D140 × H20

• 适用对象：

• 3英寸～6英寸晶圆

• 测量方式：

• 接触式线宽测量

• 测量范围：

• 0.1μm ～ 20μm

• 功能：

• 自动测量功能

• 电源：

• 单相 AC100V

• 50/60Hz

• 15A