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品名：

旋转清洗装置
（Spin清洗设备 / 旋转式晶圆清洗机）

制造商：

芝浦メカトロニクス（芝浦机械电子）

型号：

SC300-S

出厂年份：

2018年

外形尺寸（mm）：

—（未标注）

规格：

• 片式结构（枚葉式）

• 晶圆尺寸：

• φ300mm

• 晶圆厚度：

• 30～50μm（图片标注疑似为此范围）

处理模块尺寸：

• W1045 × D930 × H2200mm

电源：

• 三相 AC200V

• 75A

• 50Hz

清洗装置控制盘外形：

• W570 × D805 × H2140mm

供给单元外形：

• W1195 × D540 × H1630mm