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品名：

晶圆清洗机
（ウェーハ洗浄機）

制造商：

エイ・エス・エイ・ピー（ASAP）

型号：

WCM6000

出厂年份：

2016年

外形尺寸（mm）：

W1220 × D840 × H1790～2032

规格：

• 板式 / 片式结构（枚葉式）

• 晶圆尺寸：

• 93 × 93mm

• 91 × 126mm

• 附属品：

• 消火器

• 配管

• 最大尺寸：

• 156mm

• 但需要重新制作与晶圆夹具（Chuck Table）相匹配的部件

电源：

三相 AC200V