059

品名：

湿式清洗装置（RCA清洗）
（Wet Cleaning设备 / RCA清洗设备）

制造商：

カナメックス（Kanamex）

型号：

WCB-100S

出厂年份：

2000年

外形尺寸（mm）：

W1400 × D1010 × H2100

规格：

• 处理方式：

• 1载体处理（手动投入）

• 处理对象：

• φ4～φ6英寸晶圆

• 槽尺寸：

• W230 × D230 × H200mm

• （石英槽、QDR槽）×2套

• 药液处理：

• APM液处理
  （NH₄OH + H₂O₂ + H₂O）