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SRH-4202025年7成新
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品名：溅射装置（Sputtering Apparatus）
制造商：アルバック（ULVAC，日本爱发科，真空设备厂商）
型号：SRH-420（Model: SRH）
制造年份：2025年
外形尺寸：宽6500 × 深6000 × 高2400 mm（地面）
主要规格：
工件尺寸：6英寸
用途：背面・封装用溅射装置
主要用于功率器件、WL-CSP、UBM等金属薄膜成膜的量产设备
