品名：溅射装置（Sputtering Apparatus）
制造商：パナソニックプロダクションエンジニアリング（Panasonic Production Engineering）
型号：未标注（－）
制造年份：2015年（2015年4月制）
外形尺寸（本体）：宽800 × 深1120 × 高1555 mm
主要规格：
靶材尺寸：φ300 mm
靶材数量：1个
靶材材料：Cr（铬）
工艺气体：Ar（氩气）
基板尺寸：8英寸，可装载数量：1片
溅射电源：DC电源 5kW
输入电源：三相AC200V 75A
