• 品名：スピンコーター（自旋涂胶机）

• 制造商：アクティブ（Active）

• 型号：ACT-300AⅡ

• 制造年份：2024年（几乎全新）

• 外尺寸：宽350 × 深450 × 高325～640 mm（高度可调）

• 主要规格：

• 适用基板尺寸：φ5～φ150 mm（最大6英寸，或方形110 mm）

• 转速范围：0～6000 rpm

• 杯体内径：φ300 mm

• 电源：单相AC100V 50/60Hz 10A

• 附带真空泵：DAP-12S

用途说明

这是Active公司生产的台式自旋涂胶机。

主要用于在晶圆或基板上均匀旋涂光刻胶、SOG、保护膜等液体材料。工作原理是将基板真空吸附在旋转台上，高速旋转时依靠离心力使液体均匀铺展成薄膜。

该型号支持最大6英寸晶圆或110 mm方形基板，转速最高6000 rpm，属于研发实验室或小批量生产常用的紧凑型设备。2024年制造，附带真空泵，配置较新。