基本信息

• 品名：ドライエッチング装置（干法刻蚀装置）

• 制造商：昭和真空（Showa Shinku / Showa Vacuum）

• 型号：SPE-2010

• 制造年份：2001年

• 外尺寸：宽1000 × 深1100 × 高1600 mm

• 重量：约1000 kg

• 电源：三相AC200V 50/60Hz 12kVA

主要配置（4分割说明）

1. 刻蚀主机：SPE-2010

2. 冷却器（チラー）：NESLAB M75

3. 旋转泵（ロータリーポンプ）：ALCATEL 2012A / 2033 C2 各2台

4. RF电源：T857-2，最大500W，频率13.56 MHz

用途说明

这是昭和真空生产的干法刻蚀设备。

干法刻蚀利用等离子体（本机为13.56 MHz RF电源驱动）在真空环境下对材料进行刻蚀，常用于半导体、光电、MEMS等工艺中对薄膜或基板进行高精度图案转移。SPE-2010属于昭和真空的中小型干法刻蚀系统，适合研发或小批量生产使用。

设备附带冷却器、真空泵和RF电源，配置较为完整。