• 品名：スピンドライヤー（Spin Dryer）

• 制造商：大宮工業株式会社（Ohmiya Kogyo / OKK）

• 型号：OKVII-21R（OKV II-21R）

• 制造年份：2010年

• 外尺寸：宽500 × 深850 × 高1980 mm

• 主要规格：

• 最高转速：3000 rpm

• 适用晶圆尺寸：2～6英寸

• 定时器：1～8速（0～999秒可调）

• 电源：三相AC200V 50/60Hz

用途说明

这是大宮工業的OKV系列自転式（自转式）自旋干燥机。

工作原理是将装有晶圆的卡匣放入旋转腔体，通过高速旋转产生的离心力快速去除表面残留的去离子水等液体，实现低损伤、洁净干燥。该型号支持2～6英寸晶圆，属于紧凑型落地式设备，适合小批量生产或研发使用。

大宮工業以低振动、高洁净度的自旋干燥技术著称，OKV系列是其代表性产品之一。